5.4.3 Vakuové systémy
a) Speciálně konstruované nebo upravené rozsáhlé vakuové kolektory, sběrné potrubí a vakuové vývěvy se sacím výkonem 5 m3/min
3
(17,5 ft /min)
nebo větším.
b) Vakuové vývěvy speciálně konstruované pro práci v prostředí obsahujícím
UF
6
vyrobené z hliníku, niklu nebo ze slitin z obsahem niklu převyšujícím 60 % nebo těmito materiály povlakované. Tyto vývěvy mohou být provedeny buď jako rotační, anebo objemové. Mohou mít ucpávky a těsnění z fluorovaných uhlovodíkových polymerů a mohou používat speciální provozní kapaliny.