5.5.9. Vakuové systémy a vakuové vývěvy
5.5.9.1. Speciálně konstruované nebo upravené vakuové systémy s minimálním sacím výkonem 5 m3/min, sestávající z vakuového sběrného potrubí, vakuových sběračů (kolektorů) a vakuových vývěv, projektovaných pro provoz v prostředí obsahujícím
UF .
6
5.5.9.2. Vakuové vývěvy speciálně konstruované nebo upravené pro práci v prostředí obsahujícím
UF ,
6
vyrobené z materiálů odolných vůči korozi
UF ,
6
kterými se u této položky rozumí měď, nerezová ocel, hliník, hliníkové slitiny, nikl nebo slitiny obsahující minimálně 60 % niklu a plně fluorované uhlovodíkové polymery odolné vůči korozi
UF ,
6
nebo takovými materiály chráněné. Tyto vývěvy mohou používat těsnění z fluorovaných uhlovodíkových polymerů a speciální pracovní kapaliny.