5.4.3. Vakuové systémy
5.4.3.1. Speciálně konstruované nebo upravené rozsáhlé vakuové kolektory, sběrná potrubí a vakuová čerpadla se sacím výkonem 5 m/min
3
(175 ft /min)
nebo větším.
5.4.3.2. Vakuové vývěvy speciálně konstruované pro práci v prostředí obsahujícím
UF ,
6
vyrobené z hliníku, niklu nebo ze slitin s obsahem niklu převyšujícím 60 % nebo těmito materiály povlakované. Tyto vývěvy mohou být provedeny buď jako rotační nebo objemové. Mohou mít ucpávky a těsnění z fluorovaných uhlovodíkových polymerů a mohou používat speciální pracovní kapaliny.